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      1月20号,天津亚博体育在线投注亚博在线登录网页版亚博体育官方版科技有限公司(简称“亚博体育在线投注亚博在线登录网页版”)与上海微技术工业研究院(简称“工研院”)携手举办了上海微技术工业研究院设备材料研发合作平台—亚博体育在线投注亚博在线登录网页版CMP设备搬入仪式。来自亚博体育在线投注亚博在线登录网页版与工研院的领导出席了本次仪式,同时上海联和投资、嘉定国资、菊园新区的各位领导也莅临仪式现场,共同见证产业界开展研发合作的又一重要里程碑。

 

      工研院总经理丁辉文在搬入仪式上首先致辞,他表示,此次工研院与国产CMP设备杰出厂商亚博体育在线投注亚博在线登录网页版的深度研发合作,是产业界的一次强强联合,更是一次研发合作新模式的探索和尝试。工研院将进一步拓展研发转化新模式,着力打造创新创业新载体,以8英寸研发中试线为支撑,以新设备、新材料、新工艺的创新发展促进新器件的性能提升,助力集成电路生态系统建设。

 



      亚博体育在线投注亚博在线登录网页版董事长兼首席科学家路新春对亚博体育在线投注亚博在线登录网页版拥有完全自主知识产权的8英寸CMP设备进驻工研院感到高兴。他在随后的致辞中表示亚博体育在线投注亚博在线登录网页版持续研发的Universal-200Plus、Universal-300Plus等系列产品,实现了8—12英寸晶圆抛光设备规格型号的全覆盖,并已批量投入到国内各大客户生产线使用。而工研院拥有8英寸“超越摩尔”研发中试线,可实现从研发到量产的全程服务,此次亚博体育在线投注亚博在线登录网页版与工研院合作是优势互补、资源共享、互利共赢的新起点,具有重要的里程碑意义。

 

 

      亚博体育在线投注亚博在线登录网页版总经理张国铭与工研院总经理丁辉文在仪式现场签署了战略合作协议,双方领导共同为设备搬入进行了剪彩。

 

 


      化学机械抛平坦化(CMP)是目前国际公认的唯一能对亚微米经器件提供全局平面化的技术。伴随着全球半导体市场的增长,晶圆制造中制程技术的升级,导线与栅极的尺寸越来越小,光刻技术对晶圆表面的平坦程度的要求越来越高等因素,使得CMP工序显著增加。目前,CMP与光刻、刻蚀、离子注入、PVD/CVD一起被称为IC制造的五大核心技术。


      亚博体育在线投注亚博在线登录网页版作为国内唯一有能力同时提供8英寸及12英寸CMP商业设备的半导体装备供应商,拥有自主研发的多系列高精密CMP抛光设备、专业的技术团队、完备的抛光加工车间和精准的测量分析仪器。公司致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案,与集成电路企业共同成长,为我国集成电路产业链的蓬勃发展贡献力量。



      天津亚博体育在线投注亚博在线登录网页版亚博体育官方版科技有限公司:成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国CMP技术和设备产业化成立的高科技企业。亚博体育在线投注亚博在线登录网页版主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微亚博体育官方版系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。亚博体育在线投注亚博在线登录网页版依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件,致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案,遵循“科技服务社会”的公司宗旨,持续进行优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖。

      上海微技术工业研究院(SITRI):成立于2013年,由上海市科委、嘉定区和中科院微系统所发起成立,是集研发、工程、产业化于一体的新型研发机构。SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线。SITRI通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施,不断降低产业研发成本,缩短产品开发周期,在促进创新创业的同时,逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路。SITRI已形成国际化的专家团队,在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子、磁传感和硅基III-Ⅴ族等领域为企业提供长期可靠的研发服务。通过组建工程服务平台,提供产品、工艺、电路的分析以及晶圆和成品测试等技术支持,同时提供芯片设计、知识产权和产业咨询等相关服务。SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国,已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。