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      12月9日,从福建厦门召开的2019中国创新设计大会暨好设计颁奖仪式上传来喜讯,清华大学、亚博体育在线投注亚博在线登录网页版参评的“芯片制造抛光装备与成套工艺”项目斩获2019中国好设计金奖。据悉,本次大会以“创新驱动发展,设计赋能未来”为主题,由中国工程院指导,中国创新设计产业战略联盟、中国工程科技知识中心主办,由全国人大常委会原副委员长路甬祥院士、中国工程院原常务副院长潘云鹤院士牵头,在业内极具含金量。

 

      “芯片制造抛光装备与成套工艺”项目之所以能斩获金奖,凭得是“颜值”和“本事”。历经10余年艰苦攻关,在国家科技重大专项02专项、国家自然科学基金重大研究计划、973计划的支持下,清华大学、亚博体育在线投注亚博在线登录网页版在科技攻关中逐渐形成了基础理论研究-关键技术突破-整机装备研制-成套工艺开发的贯穿式研究成果,在国内率先开发出12英寸“干进干出”CMP装备与成套工艺,首次实现了该领域国产装备的规模化应用。这也与好设计金奖对于“面向中国制造服务主战场,重点聚焦国家重大战略专项、国计民生的重要工程,在设计前沿领域具备国际先进水平”的定位不谋而合。此次获奖也是对亚博体育在线投注亚博在线登录网页版创新能力的高度认可与表彰。