Tianjin, China    sales@hwatsing.com    +86 02259781212

        2017年2月17日,国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重大研究计划指导专家组专家卢秉恒院士、雒建斌院士、顾长志研究员,国家自然科学基金委员会工程科学二处主任赖一楠、刘磊,以及纳米精度制造领域的有关同行专家莅临亚博体育在线投注亚博在线登录网页版,对以清华大学为依托单位所承担的集成项目“亚纳米精度表面制造基础研究”,进行了实地考察与指导交流。

        在清华大学路新春教授带领下,专家组一行先后来到万级调试车间和千级洁净间,参观了正在整机调试的Universal-300型化学机械抛光机、正在出机前测试的Universal-300 plus型化学机械抛光机、Universal -150小型抛光机,以及其他自研仪器设备。
 
 
 
        路新春教授向专家组详细介绍了设备的原理、工作流程,面临的技术挑战以及工艺水平与研发销售现状。专家们在看到整套设备高效稳定自动化运转情况后,得知Universal-300 plus将在几天后发往中芯国际进行图形晶圆的抛光生产,专家组对亚博体育在线投注亚博在线登录网页版所取得的成绩给予赞许,并针对设备技术问题进行交流。随后,专家组还观摩了由清华大学、大连理工大学和国防科技大学承担集成项目所加工的亚纳米表面精度的样品。
 
 
 
        在座谈交流会上,路新春教授向专家组进行了集成项目年度总结汇报,详细介绍了清华大学及合作单位在超精密表面制造基础研究方面取得的研究进展以及所取得的阶段性成果。
        汇报结束后,专家组对基础研究成果对产业化发展的支撑作用进行了深入地讨论,并对今后基础研究的发展提出了指导意见。